廣東微型氣體流量傳感器|廣州氣體流量傳感器|廣州微小氣體傳感器 HFS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專(zhuān)門(mén)為各類(lèi)小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類(lèi)清潔、干燥氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測(cè)量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號(hào)輸出，通過(guò)通訊接口可實(shí)現(xiàn)對(duì)傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢(xún)。 產(chǎn)品特點(diǎn)： ? 傳感器靈敏度高，有極小的始動(dòng)流量 ? 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量 ? 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高 ? 輸出方式靈活，既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)(RS232)，也可通過(guò)模擬接口輸出線(xiàn)性的模擬電壓 ? 零點(diǎn)穩(wěn)定度高 ? 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性 ? 低功耗、低壓損 ? 響應(yīng)速度快 型號(hào)：HFS4001 流量范圍：0～30,100,200,500,1000, sccm 量程比：>100：1 精度：±（1.5±0.5FS）% 重復(fù)性：±0.25% 零點(diǎn)輸出飄逸：±30 mV 輸出飄逸：0.2 %/oc 響應(yīng)時(shí)間：4，8，16，33，65，131 ms 工作電源：8~18Vdc,50mA 輸出方式：RS232,模擬電壓0.5~4.5Vdc 大流量壓損：350 300 Pa 大流量壓力：0.5 MPa 工作溫度：-5~+55 oC 存儲(chǔ)溫度：-20~+65 oC 工作濕度：